× Kiểm tra đơn hàng

Đơn vị đo nồng độ bụi

     Phòng sạch là khu vực tất yếu trong hoạt động sản xuất của nhiều lĩnh vực khác nhau, nhờ có phòng sạch mà các sản phẩm, dịch vụ ra đời có chất lượng tốt hơn. Tuy nhiên để đạt được điều đó thì phòng sạch cần tuân thủ nhiều tiêu chuẩn do cơ quan có thẩm quyền đưa ra.

     Tính đến thời điểm hiện tại thì các tiêu chuẩn về lượng bụi hay độ sạch của phòng sạch có rất nhiều. Ví dụ như kiểm soát nồng độ bụi, nhiệt độ, độ ẩm và áp suất là các tiêu chuẩn về lượng bụi hay độ sạch mà phòng sạch cần quản lý.

Các vấn đề phòng sạch cần giải quyết:

  • Nhiệt độ (Temperature)
  • Độ ẩm (Humidity)
  • Áp suất phòng (Room Pressurization)
  • Độ sạch (Cleanliness)
  • Nhiễm chéo (Cross - Contamination)

Tiêu chuẩn về lượng bụi hay độ sạch

     Tiêu chuẩn đầu tiên của phòng sạch là hàm lượng bụi, tức là hàm lượng các hạt bụi lơ lửng trong không khí được khống chế đến mức nào. Nếu ta so sánh một cách hình tượng, đường kính sợi tóc người vào cỡ 100μm, hạt bụi trong phòng có thể có đường kính từ 0,5 đến 50μm (xem hình ảnh so sánh).

Đơn vị đo nồng độ bụi

     Các tiêu chuẩn về phòng sạch lần đầu tiên được đưa ra vào năm 1963 ở Mỹ, và hiện nay đã trở thành các tiêu chuẩn chung cho thế giới. Đó là các tiêu chuẩn quy định lượng hạt bụi trong một đơn vị thể tích không khí. Người ta chia thành các tầm kích cỡ bụi và loại phòng được xác định bởi số hạt bụi có kích thước lớn hơn 0,5μm trên một thể tích là 1 foot khối (ft3) không khí trong phòng.

  • Tiêu chuẩn Federal Standard 209 (1963)
  • Tiêu chuẩn Federal Standard 209 E (1992)

     Tiêu chuẩn này xác định hàm lượng bụi lửng trong không khí theo đơn vị chuẩn (đơn vị thể tích không khí là m3). Sự phân loại phòng sạch được xác định theo thang loga của hàm lượng bụi có đường kính lớn hơn 0,5 µm. Dưới đây là bảng tiêu chuẩn FS 209 E.

Bảng: Giới hạn bụi trong tiêu chuẩn 209E(1992)

 

Tên loại

Các giới hạn

≥0.1µm

≥0.2µm

≥0.3µm

≥0.5µm

≥5.0µm

Đơn vị

Đơn vị

Đơn vị

Đơn vị

Đơn vị

SI

English

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

M1

 

350

9.91

575

2.14

20.9

0.875

10.0

0.283

-

-

M1.5

1

1240

35.0

265

7.50

106

3.00

35.3

1.00

-

-

M2

 

3500

99.1

757

21.4

309

8.75

100

2.83

-

-

M2.5

10

12400

350

2650

75.0

1060

30.0

353

10.0

-

-

M3

 

35000

991

7570

214

3090

87.5

1000

28.3

-

-

M3.5

100

-

-

26500

750

10600

300

3530

100

-

-

M4

 

-

-

75700

2140

30900

875

10000

283

-

-

M4.5

1000

-

-

-

-

-

-

35300

1000

247

7.00

M5

 

-

-

-

-

-

-

100000

2830

618

17.5

M5.5

10000

-

-

-

-

-

-

353000

10000

2470

70.0

M6

 

-

-

-

-

-

-

1000000

28300

6180

175

M6.5

100000

-

-

-

-

-

-

3500000

100000

24700

700

M7

 

-

-

-

-

-

-

10000000

283000

61800

1750

  • Tiêu chuẩn ISO 14644-1

            Tổ chức Tiêu chuẩn Quốc tế (International Standards Organization - ISO) đã quy định các tiêu chuẩn về phòng sạch tiêu chuẩn quốc tế. Tiêu chuẩn ISO 14644-1 được phát hành năm 1999 có tên "Phân loại độ sạch không khí" (Classification of Air Cleanliness). Các loại phòng sạch được quy định dựa trên biểu thức:

Cn=10N[0,1D]2,08

Với:

            - Cn­ là hàm lượng cho phép tối đa (tính bằng số hạt/m3) của bụi lửng không khí lớn hơn hoặc bằng kích thước xem xét.

            - N là chỉ số phân loại ISO, không vượt quá 9 và chỉ số cho phép nhỏ nhất  là 0,1.

            - D là đường kính hạt tính theo μm 0,1 ở đây là hằng số với thứ nguyên là μm.

Như vậy, có thể dễ dàng xác định các giới hạn hàm lượng bụi từ công thức trên và dễ dàng phân loại từng cấp phòng sạch (bảng 1.3).

Bảng 1.2 Các giới hạn hàm lượng bùi trong tiêu chuẩn ISO 14644-1

 Loại

Giới hạn nồng độ cho phép

0.1µm

0.2µm

0.3µm

0.5µm

1µm

5µm

ISO1

10

2

-

-

-

-

ISO2

100

24

10

4

-

-

ISO3

1000

237

102

35

8

-

ISO4

10000

2370

1020

352

83

-

ISO5

100000

23700

10200

3520

832

29

ISO6

1000000

237000

102000

35200

8320

293

ISO7

-

-

-

352000

83200

2930

ISO8

-

-

-

3520000

832000

29300

ISO9

-

-

-

35200000

8320000

293000

Tiêu chuẩn về nhiệt độ độ ẩm và áp suất

     Tiêu chí này phụ thuộc vào điều kiện làm viêc trong các phòng sạch. Mỗi ngành có thể có thêm các đòi hỏi riêng cho mình, ví dụ như làm về công nghiệp vi mạch bán dẫn đòi hỏi khác với ngành y hay thực phẩm... trong công nghiệp bán dẫn thao tác với các phần tử vật liệu tới cỡ micron, vì thế mà yêu cầu rất khắt khe về hàm lượng bụi nhỏ, trong khi ngành y tế hay thực phẩm lại đòi hỏi cao về mức độ sạch nhiệt độ cũng như áp suất.

Tin liên quan
Tổng đài bán hàng
02871 077 078
Tổng đài bảo hành
0971 344 344
Email đặt hàng
sales@vietphat.com